Title空气对 InAs 纳米线场效应晶体管性能的影响
Authors张昕彤
李星
王小耶
付梦琦
杨涛
陈清
Affiliation北京大学电子学系
纳米器件物理与化学教育部重点实验室
北京 100871
中国科学院半导体研究所
半导体材料科学重点实验室
北京 100083
KeywordsInAs 纳米线
纳米器件
电学特性
气敏
Issue Date 1
Publisher北京大学学报自然科学版
Citation北京大学学报(自然科学版).0.
Abstract制备基于单根 InAs 纳米线的平面场效应晶体管纳米器件, 测量并研究器件在真空、空气、氮气、氧气、水汽和大气污染成分二氧化氮中的电学特性。与真空中的结果相比, 空气中器件的阈值电压向正栅压方向偏移, 关态电流上升, 开关比下降。空气的主要成分氮气对器件性能没有可分辨的影响; 氧气的影响很弱;水汽使关态电流上升, 开关比下降, 但使阈值电压向负栅压方向偏移。研究表明, 大气污染成分二氧化氮使器件的阈值电压向正栅压方向偏移, 开关比不变。研究结果表明, 空气对器件性能的影响是水汽和二氧化氮共同作用的结果。
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/22531
ISSN0479-8023
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