Browsing by Author 吴文刚

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200816×16光开关微镜阵列陈庆华; 吴文刚; 王子千; 闫桂珍; 郝一龙
2006表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感吴文刚; 李轶; 黄风义; 韩翔; 张少勇; 李志宏; 郝一龙
2015带氮化镓插入层的氮化镓基增强型器件及其制备方法刘靖骞; 王金延; 徐哲; 王茂俊; 于民; 吴文刚; 张进城; 马晓华; 郝跃
2014氮化镓盖帽层掩模的凹槽栅氮化镓基增强型器件制备方法徐哲; 王金延; 刘靖骞; 王茂俊; 谢冰; 于民; 吴文刚
2007FIB加工的三维单晶硅纳米螺旋的机械特性赖西湖; 徐军; 吴文刚; 经光银; 郝一龙
2005复合静电驱动结构致动的内旋转微镜吴文刚; 陈庆华; 尹冬青; 闫桂珍; 陈章渊; 郝一龙; 徐安士
2010光纤阵列固定器件及其制备方法吴文刚
2005硅微机械扭转微镜的研究进展栗大超; 吴文刚; 闫桂珍; 傅星; 郝一龙; 胡小唐
1硅微机械扭转微镜的研究进展栗大超; 吴文刚; 闫桂珍; 傅星; 郝一龙; 胡小唐
2002硅在KOH中各向异性腐蚀的物理模型姜岩峰; 黄庆安; 吴文刚; 郝一龙; 杨振川
2003硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展姜岩峰; 黄庆安; 吴文刚; 郝一龙; 杨振川
2006基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征栗大超; 吴文刚; 袁勇; 郝一龙; 胡小唐
2006基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐
2006基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐
2013基于 FIB-SID 技术的三维金属无源电感制备与测试毛逸飞; 王志强; 赵路睿; 吴文刚; 徐军
2014基于扇贝效应表面等离子体激元耦合纳米阵列加工工艺吴文刚; 樊姣荣; 马鹏程; 谌灼杰
2015基于自停止刻蚀的氮化镓基器件隔离的制备方法刘靖骞; 王金延; 徐哲; 王茂俊; 谢冰; 于民; 吴文刚; 张进城; 马晓华; 郝跃
2016基于自停止刻蚀的氮化镓基材料开槽欧姆接触的制备方法刘靖骞; 王金延; 蒋海桑; 王宏跃; 朱林; 王茂俊; 于民; 吴文刚; 张进城; 马晓华; 郝跃
2013基于自停止刻蚀的凹槽栅氮化镓基增强型器件的制备方法徐哲; 王金延; 刘洋; 蔡金宝; 刘靖骞; 王茂俊; 谢冰; 吴文刚
2009静电致动器及其制备方法、抗瞬时扰动方法陈庆华; 吴文刚; 杜博超; 贾鲲鹏; 张海霞; 夏雨; 郝一龙
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