Browsing by Author 杨 芳

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2006MEMS力学微探针及其制备方法刘冬宁; 张大成; 贺学峰; 李 婷; 杨 芳; 王 颖; 张美丽
2005一种预测微结构力学特性的方法贺学锋; 张大成; 方 竞; 熊春阳; 李 婷; 杨 芳; 田大宇
2005一种对等离子体刻蚀进行定量监测的方法及结构贺学锋; 张大成; 方 竞; 张 钰; 李 婷; 杨 芳; 王 纬
2005在感应耦合等离子体刻蚀中保护刻蚀结构的方法阮 勇; 张大成; 王阳元; 张 兴; 李 婷; 田大宇; 罗 葵; 王兆江; 于晓梅; 杨 芳; 李修函; 刘晓娣
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