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20013-6nm超薄SiO2栅介质的特性高文钰; 张兴; 田大宇; 张大成; 王阳元
20013.4nm超薄SiO2栅介质的特性许晓燕; 谭静荣; 高文钰; 黄如; 田大宇; 张兴
20023.4nm超薄SiO2栅介质的特性许晓燕; 谭静荣; 高文钰; 黄如; 田大宇; 张兴
2008北京大学研制离子注入表面钝化全耗尽硅探测器的主要性能指标田大宇; 王金延; 王玮; 罗葵; 张录; 陈鸿飞; 邹鸿; 施伟红; 邹积清
2004薄膜气体传感器的制备方法刘晓娣; 张大成; 王 玮; 李 婷; 罗 葵; 田大宇
2009场效应晶体管侧墙的应力测试方法陈会军; 张大成; 李 婷; 罗 葵; 田大宇; 李 静; 王 颖
2008超薄硅基粒子探测器及其制备方法李科佳; 王金延; 田大宇; 张 录; 张太平; 金玉丰
2001大面积PIN光电二极管在高低温退火前后暗电流的变化田大宇; 王兆江; 王玮; 张维; 张录
2001大面积硅PIN探测器的研制宁宝俊; 张录; 张太平; 袁坚; 田大宇; 张维; 马连荣
2005电容耦合式微波MEMS开关(英文)张锦文; 金玉丰; 郝一龙; 王玮; 田大宇; 王阳元
2014电子束斑的测量方法和设备刘鹏; 张大成; 王玮; 田大宇; 杨芳; 罗葵; 戴小涛; 李婷; 王颖; 李静; 时广轶
1999多晶硅薄膜应力特性研究张国炳; 郝一龙; 田大宇; 刘诗美; 王铁松; 武国英
2009多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法刘鹏; 张大成; 李婷; 罗葵; 田大宇; 李静
2003多层高深宽比硅台阶深刻蚀方法张大成; 李婷; 邓珂; 田大宇
2008高深宽比玻璃刻蚀工艺罗 葵; 张大成; 王兆江; 李 婷; 田大宇; 王 玮; 王 颖; 李 静
2008高深宽比氧化硅刻蚀工艺罗 葵; 张大成; 王兆江; 李 婷; 田大宇; 王 玮; 王 颖; 李 静
2001硅衬底注氮方法制备4.4nm SiO2栅介质及其特性许晓燕; 谭静荣; 黄如; 张兴; 田大宇; 张录
2006硅多条两维位置灵敏探测器的研制谭继廉; 宁宝俊; 王玮; 张录; 靳根民; 段利敏; 卢子伟; 袁小华; 张玲; 肖国青; 徐瑚珊; 田大宇
2010硅的腐蚀深度实时监控方法严远; 张大成; 王玮; 杨芳; 李婷; 王颖; 罗葵; 田大宇
2006硅多条两维位置灵敏探测器的研制谭继廉; 靳根民; 段利敏; 卢子伟; 袁小华; 张玲; 肖国青; 徐瑚珊; 田大宇; 宁宝俊; 王玮; 张录