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Title
Author(s)
2001
3-6nm超薄SiO2栅介质的特性
高文钰
;
张兴
;
田大宇
;
张大成
;
王阳元
2001
3.4nm超薄SiO2栅介质的特性
许晓燕
;
谭静荣
;
高文钰
;
黄如
;
田大宇
;
张兴
2002
3.4nm超薄SiO2栅介质的特性
许晓燕
;
谭静荣
;
高文钰
;
黄如
;
田大宇
;
张兴
2008
北京大学研制离子注入表面钝化全耗尽硅探测器的主要性能指标
田大宇
;
王金延
;
王玮
;
罗葵
;
张录
;
陈鸿飞
;
邹鸿
;
施伟红
;
邹积清
2004
薄膜气体传感器的制备方法
刘晓娣
;
张大成
;
王 玮
;
李 婷
;
罗 葵
;
田大宇
2009
场效应晶体管侧墙的应力测试方法
陈会军
;
张大成
;
李 婷
;
罗 葵
;
田大宇
;
李 静
;
王 颖
2008
超薄硅基粒子探测器及其制备方法
李科佳
;
王金延
;
田大宇
;
张 录
;
张太平
;
金玉丰
2001
大面积PIN光电二极管在高低温退火前后暗电流的变化
田大宇
;
王兆江
;
王玮
;
张维
;
张录
2001
大面积硅PIN探测器的研制
宁宝俊
;
张录
;
张太平
;
袁坚
;
田大宇
;
张维
;
马连荣
2005
电容耦合式微波MEMS开关(英文)
张锦文
;
金玉丰
;
郝一龙
;
王玮
;
田大宇
;
王阳元
2014
电子束斑的测量方法和设备
刘鹏
;
张大成
;
王玮
;
田大宇
;
杨芳
;
罗葵
;
戴小涛
;
李婷
;
王颖
;
李静
;
时广轶
1999
多晶硅薄膜应力特性研究
张国炳
;
郝一龙
;
田大宇
;
刘诗美
;
王铁松
;
武国英
2009
多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法
刘鹏
;
张大成
;
李婷
;
罗葵
;
田大宇
;
李静
2003
多层高深宽比硅台阶深刻蚀方法
张大成
;
李婷
;
邓珂
;
田大宇
2008
高深宽比玻璃刻蚀工艺
罗 葵
;
张大成
;
王兆江
;
李 婷
;
田大宇
;
王 玮
;
王 颖
;
李 静
2008
高深宽比氧化硅刻蚀工艺
罗 葵
;
张大成
;
王兆江
;
李 婷
;
田大宇
;
王 玮
;
王 颖
;
李 静
2001
硅衬底注氮方法制备4.4nm SiO2栅介质及其特性
许晓燕
;
谭静荣
;
黄如
;
张兴
;
田大宇
;
张录
2006
硅多条两维位置灵敏探测器的研制
谭继廉
;
宁宝俊
;
王玮
;
张录
;
靳根民
;
段利敏
;
卢子伟
;
袁小华
;
张玲
;
肖国青
;
徐瑚珊
;
田大宇
2010
硅的腐蚀深度实时监控方法
严远
;
张大成
;
王玮
;
杨芳
;
李婷
;
王颖
;
罗葵
;
田大宇
2006
硅多条两维位置灵敏探测器的研制
谭继廉
;
靳根民
;
段利敏
;
卢子伟
;
袁小华
;
张玲
;
肖国青
;
徐瑚珊
;
田大宇
;
宁宝俊
;
王玮
;
张录