Title | 多晶硅发射极超高速集成电路工艺 |
Other Titles | Super High Speed Polysilicon Emitter Integrated Circuit Technology |
Authors | 张利春 倪学文 王阳元 |
Affiliation | 北京大学微电子所,北京 100871 |
Keywords | 多晶硅发射极 超高速 集成电路 工艺研究 |
Issue Date | 2001 |
Publisher | 半导体学报 |
Citation | 半导体学报.2001,22,(6),811-816. |
Abstract | 报道了具有先进双极 |
URI | http://hdl.handle.net/20.500.11897/180036 |
ISSN | 0253-4177 |
DOI | 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.06.029 |
Indexed | 中文核心期刊要目总览(PKU) 中国科学引文数据库(CSCD) |
Appears in Collections: | 信息科学技术学院 |