| Title | 氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米组织结构的场发射扫描电镜观察研究 |
| Other Titles | Study on The Nanostructural Morphology of Si3N4/TiN Multilayers with Field Emission SEM |
| Authors | 徐军 王立铎 陈文雄 |
| Affiliation | 北京大学电子显微镜实验室,北京,100871 清华大学材料科学与工程系,北京,100084 |
| Keywords | 场发射扫描电镜 二次电子成分衬度 离子束锥形刻蚀 |
| Issue Date | 1998 |
| Publisher | 电子显微学报 |
| Citation | 电子显微学报.1998,17,(6),716-721. |
| Abstract | 将"高分辨二次电子成分衬度成像原理"与"离子束锥形刻蚀处理样品的方法"相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中的纳米粒子,这一方法为氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米结构与层间关系的研究提供了一种实用而有效的手段. |
| URI | http://hdl.handle.net/20.500.11897/183714 |
| ISSN | 1000-6281 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1000-6281.1998.06.006 |
| Indexed | 中国科学引文数据库(CSCD) |
| Appears in Collections: | 物理学院 |
