Title氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米组织结构的场发射扫描电镜观察研究
Other TitlesStudy on The Nanostructural Morphology of Si3N4/TiN Multilayers with Field Emission SEM
Authors徐军
王立铎
陈文雄
Affiliation北京大学电子显微镜实验室,北京,100871
清华大学材料科学与工程系,北京,100084
Keywords场发射扫描电镜
二次电子成分衬度
离子束锥形刻蚀
Issue Date1998
Publisher电子显微学报
Citation电子显微学报.1998,17,(6),716-721.
Abstract将"高分辨二次电子成分衬度成像原理"与"离子束锥形刻蚀处理样品的方法"相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中的纳米粒子,这一方法为氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米结构与层间关系的研究提供了一种实用而有效的手段.
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/183714
ISSN1000-6281
DOI10.3969/j.issn.1000-6281.1998.06.006
Indexed中国科学引文数据库(CSCD)
Appears in Collections:物理学院

Web of Science®



Checked on Last Week

Scopus®



Checked on Current Time

百度学术™



Checked on Current Time

Google Scholar™





License: See PKU IR operational policies.