Title一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法
Authors成艳
魏世成
褚颖
郑玉峰
Affiliation北京大学
Issue Date2010
Citation北京.
Abstract本发明公开了一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法,属于光学镜片制备技术领域。该方法以PC树脂镜片为基体,采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)技术在PC基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜。本发明利用PECVD技术特点,即基体温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂,最终获得耐磨性和透光性良好的光学镜片。
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/193758
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