Title半导体器件模拟技术的研究
Other TitlesAn Overview of Simulation Technologies for Semiconductor Devices
Authors刘恩峰
刘晓彦
韩汝琦
Affiliation北京大学,微电子学研究所,北京,100871
KeywordsTCAD 半导体器件 器件模拟 HD模型 三角网格 数值技术
Issue Date2002
Publisher微电子学
Citation微电子学.2002,32,(3),206-208,233.
Abstract主要介绍了半导体器件模拟中常用的HD模型与DD模型和三角网格划分的常用算法.以泊松方程为例,简要说明了如何在三角网格上离散化方程.同时,介绍了几种求解非线形方程组常用的数值方法.
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/226130
ISSN1004-3365
DOI10.3969/j.issn.1004-3365.2002.03.014
Indexed中文核心期刊要目总览(PKU)
中国科学引文数据库(CSCD)
Appears in Collections:信息科学技术学院

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