Title基于 FIB-SID 技术的三维金属无源电感制备与测试
Other TitlesFabrication and Testing of 3D Metal Passive Inductor Based on FIB-SID Technology
Authors毛逸飞
王志强
赵路睿
吴文刚
徐军
Affiliation北京大学 微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871
北京大学 微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871
北京大学深圳研究院,广州 深圳518000
北京大学 电子显微镜实验室,北京,100871
KeywordsFIB-SID 微型金属无源螺旋电感 高频测试 FIB-SID metal passive micro-helix inductor high frequency test
Issue Date2013
Publisher中国材料进展
Citation中国材料进展.2013,(12),742-745.
Abstract重点研究了聚焦离子束的相关原理和应用。利用聚焦离子束应力引入致形变( Focused Ion Beam Stress-Introduced De-formation, FIB-SID)技术与常规微加工工艺相结合,制备微型金属无源螺旋电感的设计方法和工艺流程,并对其电学性能进行初步高频测试。首先在SOI( Silicon-on-Insulator)基片上通过光刻、溅射以及各项同性刻蚀等常规工艺制得悬浮的金属悬臂梁,再利用FIB刻蚀原理进行应力引入,通过控制注入离子剂量、 FIB应力引入的次数、 FIB扫描的间距等试验参数制得不同尺寸结构的三维螺旋金属无源电感。最后,采用安捷伦网络分析仪与微波探针台,使用GSG结构及相应的去嵌方法,对微型金属螺线管电感进行了高频测试。得出了三维螺旋微纳电感的电感值、品质因子、电压驻波比、回波损耗随频率变化关系。
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/235006
ISSN1674-3962
DOI10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.05
Indexed中国科技核心期刊(ISTIC)
中国科学引文数据库(CSCD)
Appears in Collections:信息科学技术学院
深圳研究生院待认领
物理学院

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