Title | 适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器 |
Other Titles | A Low Pass Filter with Adjustable Bandwidth for MEMS Capacitive Accelerometer Readout Circuit |
Authors | 陈江华 项斌 莫邦燹 王展飞 倪学文 |
Affiliation | 北京大学微电子学研究所,北京,100871 |
Keywords | MEMS 电容加速度计 读出电路 低通滤波器 CMOS |
Issue Date | 2008 |
Publisher | 北京大学学报 自然科学版 |
Citation | 北京大学学报(自然科学版).2008,44,(1),98-102. |
Abstract | 提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100~8000kHz.信号频率低于500Hz 时选用开关电容低通滤波器,高于500 Hz 的信号则由连续时间低通滤波器来处理.该低通滤波器采用1.2μm的 2P2M 的 N-阱 CMOS 工艺实现.设计中分析并解决了因时钟信号引起的制约开关性能的因素:优化的开关时序消除了电荷注入引起的非线性;时钟馈通敏感节点增加虚拟开关抵消了耦合电荷;高PSRR共源共栅折叠式差分输入结构,有效地抑制了来自电源的干扰,改善了电路的性能. |
URI | http://hdl.handle.net/20.500.11897/23889 |
ISSN | 0479-8023 |
DOI | 10.3321/j.issn:0479-8023.2008.01.018 |
Indexed | 中文核心期刊要目总览(PKU) 中国科技核心期刊(ISTIC) 中国科学引文数据库(CSCD) |
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