Title适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器
Other TitlesA Low Pass Filter with Adjustable Bandwidth for MEMS Capacitive Accelerometer Readout Circuit
Authors陈江华
项斌
莫邦燹
王展飞
倪学文
Affiliation北京大学微电子学研究所,北京,100871
KeywordsMEMS
电容加速度计
读出电路
低通滤波器
CMOS
Issue Date2008
Publisher北京大学学报 自然科学版
Citation北京大学学报(自然科学版).2008,44,(1),98-102.
Abstract提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100~8000kHz.信号频率低于500Hz 时选用开关电容低通滤波器,高于500 Hz 的信号则由连续时间低通滤波器来处理.该低通滤波器采用1.2μm的 2P2M 的 N-阱 CMOS 工艺实现.设计中分析并解决了因时钟信号引起的制约开关性能的因素:优化的开关时序消除了电荷注入引起的非线性;时钟馈通敏感节点增加虚拟开关抵消了耦合电荷;高PSRR共源共栅折叠式差分输入结构,有效地抑制了来自电源的干扰,改善了电路的性能.
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/23889
ISSN0479-8023
DOI10.3321/j.issn:0479-8023.2008.01.018
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