一种电阻式随机存取存储器的存储单元及其制备方法

Abstract

本发明提供一种电阻式随机存取存储器的存储单元及其制备方法，属非挥发性存储器件技术领域。该存储单元包括：衬底和金属-绝缘-金属(MIM)结构电阻器，MIM结构电阻器中两金属作为顶电极和底电极，绝缘体为掺杂金属元素的二氧化钛氧化物薄膜。其制备方法是采用溶胶-凝胶旋涂法、化学气相淀积、溅射等方法结合退火工艺，在金属/二氧化硅/硅上制备掺杂金属元素的二氧化钛氧化物薄膜，再在氧化物薄膜上制作顶金属电极，形成了一具有优异双稳态电阻转变和记忆特性的电阻式随机存取存储器的存储单元。