透明导电电极的图案化刻蚀方法和图案化透明导电电极

Abstract

本发明公布一种透明导电电极的图案化刻蚀方法和图案化透明导电电极，包括步骤：制成待图案化的电极；其上制备图案化的保护层；置于刻蚀液或气体中刻蚀；置于清洗液中清洗去掉刻蚀产物和保护层。用本发明方法对金属纳米线进行网格状图案化，制备成一种网格状图案化的透明导电电极。本发明通过气体或较低浓度的刻蚀液对金属或金属纳米线薄膜实现快速、低成本且安全低毒的化学刻蚀，既可彻底刻蚀，也能无影刻蚀，且安全低毒、刻蚀速度快，在实际应用中效果显著。制成的网格状图案化透明导电电极综合纳米线和纳米网格透明电极的优点，在导电性损失极小的前提下大幅提高透明度，性能良好。