Title聚焦离子束致形变微纳加工研究进展
Authors毛逸飞
吴文刚
徐军
Affiliation北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室
北京大学电子显微镜实验室
Keywords聚焦离子束应力引入致形变
聚焦离子束物质再分布致形变
微/纳功能结构加工
Issue Date2016
Publisher电子显微学报
Citation电子显微学报.2016,369-378.
Abstract聚焦离子束技术(focused ion beam,FIB)由于其高精度刻蚀、定点加工、实时成像等优势,常用于精密加工、TEM制样等领域。其工作机理通常为:刻蚀、淀积与成像。而基于FIB新的加工手段正在被探索和研究,其中就包括两种聚焦离子束致形变技术,分别为聚焦离子束应力引入致形变技术(FIB-stress induced deformation,FIBSID)和聚焦离子束物质再分布致形变技术(FIB-material-redistribution induced deformation,FIB-MRD)。前者通过控制FIB辐照时离子注入与溅射之间的竞争关系实现悬臂梁的多角度弯曲,后者利用粒子与...
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/454241
ISSN1000-6281
Indexed中国科技核心期刊(ISTIC)
Appears in Collections:信息科学技术学院
物理学院

Web of Science®



Checked on Last Week

百度学术™



Checked on Current Time




License: See PKU IR operational policies.