TitleAEC‑Q100复合应力测试机
Authors陆宇
张佩佩
程玉华
Affiliation上海北京大学微电子研究院
Issue Date2016
Citation2016.
Abstract本发明提出的AEC‑Q100复合应力测试机,是将加速环境应力测试、加速寿命模拟测试和封装凹陷整合测试结合在一起的一种AEC‑Q100复合应力测试机。在测试过程中,只需要一台测试设备,就可以同时测试多种应力测试,测量、操作方法比较简单,由于多种应力测试同时经行,耗费时间也同时减小。测试结果能同时反映芯片实际不同的受力情况,是进行集成电路应力测量的有力工具。
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/531284
Appears in Collections:上海微电子研究院
专利

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