Title扫描电镜的最新发展--低电压扫描电镜(LVSEM)和扫描低能电镜(SLEEM)
Other TitlesThe new development in SEM: LVSEM and SLEEM
Authors陈文雄
徐军
张会珍
Affiliation北京大学物理学院电镜实验室,
Keywords低电压扫描电镜
扫描低能电镜
阻滞场透镜
Issue Date2001
Publisher电子显微学报
Citation电子显微学报.2001,20,(4),258-262.
Abstract本文从仪器和电子光学的观点评述了在扫描电镜上装备场发射枪以后,向低电压扫描电镜和扫描低能电镜发展中的一些重要问题.讨论了低能和极低能时二次电子和背散射电子的特性,低电压扫描电镜和扫描低能电镜能量段的划分,实现低电压扫描电镜和扫描低能电镜的困难,以及利用阻滞场透镜的解决办法.讨论了低能情形下信号的探测,杂散电磁场的影响的估计和仪器的分辨率.
URIhttp://hdl.handle.net/20.500.11897/89037
ISSN1000-6281
DOI10.3969/j.issn.1000-6281.2001.04.002
Indexed中文核心期刊要目总览(PKU)
中国科学引文数据库(CSCD)
Appears in Collections:物理学院

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